| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2011년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터) |
| 권호 | 15권 1호 |
| 발표분야 | 환경.에너지 |
| 제목 | 고효율 다결정질 실리콘 태양전지 제조를 위한 텍스쳐링 기술개발(Ⅰ) |
| 초록 | 결정질 실리콘 태양전지에서 높은 광변환 효율을 확보하기 위하여 표면조직화 공정은 필수적이다. 일반적으로 다결정질 실리콘 웨이퍼 재료의 식각에는 결정 방향과 상관없이 균일한 식각속도를 갖는 등방성 식각용액인 HF와 HNO3 산 혼합용액이 사용된다. 본 연구는 다결정질 실리콘 웨이퍼의 등방성 식각에서 세정력의 변화가 텍스쳐링에 미치는 영향을 조사하기 위해 세정제 및 텍스쳐링제 조합의 역할에 대해 중점을 두어 수행하였다. 3종의 세정방법에 대해 불산과 질산 및 첨가제 (HF:HNO3:H2O, HF:HNO3:CH3COOH, HF:HNO3:H3PO4)의 농도조합, 공정 식각시간 등의 적절한 텍스쳐링 조합을 시험한 결과 평균 반사율 7% 수준의 등방성 식각 결과를 얻을수 있었다. |
| 저자 | 이창준, 임대우, 권원호, 황다예 |
| 소속 | 호서대 |
| 키워드 | Texturing; Saw-damage etching; Acid; Multi-crystalline silicon; Solar cell |
