| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2012년 봄 (04/25 ~ 04/27, 제주 ICC) |
| 권호 | 18권 1호, p.962 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Effect of H2O2 wt% on the growth of ALD TiO2 |
| 초록 | 이산화티타늄(TiO2)은 밴드 갭이 커서 안정적인 특성을 가지고 있기 때문에 최근 태양전지에 많이 적용되고 있다. 이러한 특성은 Organic Photovoltaics(OPV)에 Hole blacking layer(HBL)로 현재 활발히 연구되고 있다. 따라서 본 연구에서는 ALD공정을 통하여 TiO2 박막을 제조하였다. TiO2를 제조하기위한 precursor로는 TDMAT와 과산화수소(H2O2)를 사용하였다. 이 때 H2O2 wt%에 따른 TiO2 박막 특성을 보았고 다른 wt%의 과산화수소를 사용했을 때, 결정성을 갖는 임계두께와 물리화학적 특성평가를 해보았다. 각각 다른 wt%의 H2O2와 다른 두께가 OPV 태양전지에 어떤 영향을 미치는지 알아보았다. 이를 알아보기 위하여 XRR, XRD, solar simulator 분석을 수행하였다. 이를 토대로 그 결과를 보고하고자 한다. |
| 저자 | 조현수, 김도형, 공대현 |
| 소속 | 전남대 |
| 키워드 | TiO2 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
