| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2017년 가을 (11/15 ~ 11/17, 경주 현대호텔) |
| 권호 |
23권 2호 |
| 발표분야 |
G. 나노/박막 재료 분과 |
| 제목 |
RF magnetron sputtering 법에 의해 제조된 SiON 박막의 기계적, 광학적 특성 향상 |
| 초록 |
SiON(Silicon Oxynitride) 와 SiO2 박막은 반사방지 코팅 및 표면 패시브 층과 같은 다양한 방면에 상당한 관심을 끈다. 이 연구에서, RF magnetron sputtering 법에 의해 제조된 비정질 SiON 을 증착함으로써 사파이어의 투과율과 경도값 향상, 그리고 1373K 까지 고온 열처리에 대한 미세 구조 및 광학 투과율의 변화에 관한 연구를 보여준다. 나노 결정질 SiO2의 박막은 어닐링에 의해 사파이어-박막 계면에서 형성되었다. XPS 스펙트럼에서 열처리 한 박막에서는 실리콘-질소 결합이 소멸되고 비화학적량비의 Silicon Oxide(SiOx) 상을 형성한다는 것이 밝혀졌따. 1373K 에서 열처리 한 박막의 굴절률이 1.41까지의 현저한 감소로 인해 Soda-lime glass 와 비교하여 매우 높은 ~92%의 가시광 투과율을 보인다. |
| 저자 |
이광, 이기선
|
| 소속 |
공주대 |
| 키워드 |
<P>Silicon Oxynitride; Sputtering; annealing; 투과율; 사파이어</P>
|
| E-Mail |
|
