| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Multiscale simulation of plasma etching process from molecular interactions to feature profile 육영근, 유혜성, 조덕균, 장원석, 유동훈, 최광성, 임연호 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Multiscale simulation of plasma etching process from molecular interactions to feature profile 육영근, 유혜성, 조덕균, 장원석, 유동훈, 최광성, 임연호 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |