| 174 |
Development of Robust Endpoint Detection Algorithm for Cyclic Plasma Etching Process
노해랑, 김채선, 이혜지, 박태균, 이용석, 이찬민, 윤국한, 손영우, 최원혁, 이종민
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
| 173 |
Fabrication of Organic Light Emitting Diode Micropixels by Self-Aligned Imprint Lithography and Plasma-Etch Processes
박형기, 나창연, 이한길, 박성민, 조성민
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
| 172 |
Layer-by-Layer Etching of Copper Thin Films Using Acetylacetone/O2/Ar Gas Mixture
김승현, 임은택, 박성용, 정지원
한국공업화학회 2022년 봄 학술대회 |
| 171 |
Development of Robust Endpoint Detection Algorithm for Cyclic Plasma Etching Process
김채선, 이혜지, 박태균, 선종우, 노해랑, 이종민
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
| 170 |
Sensitivity Enhancement of Optical Signals for Plasma Etching Endpoint Detection with Modified Clustering Method
이성현, 채희엽
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
| 169 |
Sensitivity Enhancement of Optical Signals for Plasma Etching Endpoint Detection with Discrete Wavelet Transform and Clustering Analysis Method
이성현, 채희엽
한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
| 168 |
The effect of silica concentration and plasma treatment power on the amphiphilicity of the silica-coated glass surface
Nguyen Van-Tuan, Oleksii Omelianovych, Sajid Sayed Hussain, 최호석
한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
| 167 |
Universal surface reaction model with diffusion effect in plasma oxide etching process
유혜성, 임연호, 박재형, 육영근, 유동훈, 최광성
한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
| 166 |
Fabrication of indium-gallium-zinc-oxide TFT using self-aligned imprint lithography
나창연, 조성민
한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
| 165 |
Imprint- and plasma-etch-patterned organic light-emitting diode micropixels with through-hole anode connections
박형기, 조성민
한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
