| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Photo-resist Etching in Si(100) Wafer Cleaning through Large Area He/O2 and Ar/O2 Plasma Source at Atmospheric Pressure 정미희, 최호석 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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Photo-resist Etching in Si(100) Wafer Cleaning through Large Area He/O2 and Ar/O2 Plasma Source at Atmospheric Pressure 정미희, 최호석 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |