번호 | 제목 |
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Dependence of cation ratio in Oxynitride Glasses on the plasma etching rate Lee Jungki, Hwang Seongjin, Lee Sungmin, Kim Hyungsun 한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
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Surface Analysis of Fluorine-Plasma Etched Y-Si-Al-O-N Oxynitride Glasses Jungki Lee, Seongjin Hwang, Sungmin Lee, Hyungsun Kim 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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Investigation of plasma resistance material with Y-Si-Al-O-N oxynitride glass Jungki Lee, Seongjin Hwang, Sungmin Lee, Hyungsun Kim 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |