번호 | 제목 |
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Pb(Zr,Ti)O3 박막을 이용한 마이크로 다이아프램의 제작 및 특성에 관한 연구|Fabrication and electromechanical Properties of Pb(Zr,Ti)O3 Micro-Diaphragm with Various Mechanical Boundary Conditions 백준규, 신상훈, 권호준, 이재찬 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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PZT 박막을 이용한 마이크로 다이아프램의 특성에 관한 연구|Fabrication of piezoelectric micro-diaphragm and their electro-mechanical properties for various shape 백준규, 신상훈, 나선웅, 이내응, 이재찬 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |