| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
환경친화적 O2,H2 플라즈마를 이용한 Photoresist 세정효과|The Effects of Photoresist Cleaning Using Envronmetal-friendly O2, H2 plasma 소현,김의열,김양도,전형탁,김영채|Hyun Soh,Ui Yeul Kim,Yangdo Kim,Hyeongtag Jeon,Young Chai Kim 한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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환경친화적 O2,H2 플라즈마를 이용한 Photoresist 세정효과|The Effects of Photoresist Cleaning Using Envronmetal-friendly O2, H2 plasma 소현,김의열,김양도,전형탁,김영채|Hyun Soh,Ui Yeul Kim,Yangdo Kim,Hyeongtag Jeon,Young Chai Kim 한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |