화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 Epitaxial growth of B-doped epitaxial Si film by hot wire CVD
강승모, 안경민, 문선홍, 안병태
한국재료학회 2014년 봄 학술대회
2 Hot-Wire CVD 방법을 이용한 저온 에피택셜 실리콘 박막의 표면 텍스처 형성
이승렬, 안경민, 안병태
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
1 다결정 실리콘 씨앗층에서의 Hot-wire CVD 방법을 이용한 에피택셜 실리콘 성장에 관한 연구
이승렬, 안경민, 안병태
한국재료학회 2007년 봄 학술대회