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화학공정에서 배출되는 폭발성 가스 및 DCS(Dichlorosilane) 처리 시스템 연구
홍범의, 최창식, 최희영
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
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플라즈마 적용한 폭발성 가스 및 DCS (Dichlorosilane)처리를 위한 시스템 개발
최희영, 최창식, 홍범의
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
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에너지 회수형 건식 소각처리 장치 접목을 통한 폭발성 가스 및 DCS의 처리 연구
홍범의, 최창식, 최희영
한국공업화학회 2016년 봄 학술대회 |
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폭발성 및 DCS(Dichlorosilane) 가스의 효율적 처리를 위한 공정개선
최희영, 최창식, 홍범의
한국공업화학회 2016년 봄 학술대회 |
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Dismutation of trichlorosilane to dichlorosilane
이동원, 한준수, 이명의, 유복렬
한국공업화학회 2014년 봄 학술대회 |
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Feasibility Study of Waste Recycle in Perhydropolysiloxazane Synthesis for using Semiconductor Processing Materials
윤희찬, 염승종, 양대륙
한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
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Redistribution Reaction of Trichlorosilane to Dichlorosilane
이동원, 이명의, 한준수, 유복렬
한국공업화학회 2013년 가을 학술대회 |
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Redistribution Reaction of Trichlorosilane to Dichlorosilane
이동원, 한준수, 이명의, 유복렬
한국공업화학회 2013년 봄 학술대회 |
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Redistribution Reaction of Trichlorosilane to Dichlorosilane
이동원, 한준수, 유복렬, 이명의
한국공업화학회 2012년 가을 학술대회 |
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Characteristics of SiO2 /Si3N4/SiO2 multilayer Grown by Atomic Layer Deposition for Flash memory applications
박광철, 정광수, 윤원덕, 박종욱, 나사균, 이원준
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
