번호 | 제목 |
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1 |
Atomic layer deposition of molybdenum films from molybdenum pentachloride and molybdenum dichloride dioxide 이창원, 이세원, 김무성, Sergei Ivanov 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
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Atomic layer deposition of molybdenum films from molybdenum pentachloride and molybdenum dichloride dioxide 이창원, 이세원, 김무성, Sergei Ivanov 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |