| 번호 | 제목 |
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Very High Frequency Plasma - Enhanced 원자층 증착법을 통한 순수 코발트 박막 특성 연구 송창훈, 염원균, 이수정, 탁현우, 변지영, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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CCP (Capacitively Coupled Plasma)-type Reactor에서 VHF (Very High Frequency) Generator를 이용한 ACL (Amorphous Carbon Layer)에 관한 식각 특성연구 권용현, 신경섭, 황기현, 염근영 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
