| 번호 | 제목 |
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Very High Frequency Plasma - Enhanced 원자층 증착법을 통한 순수 코발트 박막 특성 연구 송창훈, 염원균, 이수정, 탁현우, 변지영, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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VHF 플라즈마 소스를 이용한 PE-ALD 유전층 증착 공정 및 플라즈마에 의한 데미지 개선 오일권, 김태형, 염근영, 김강식, 이종훈, 이한보람, 김형준 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
| 6 |
Characteristics of Silicon Nitride Deposited by VHF-PECVD using a Multi-tile Push-pull Plasma Source 김기석, 김기현, 지유진, 염근영 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Multi-tile Push-pull Plasma Source 를 이용한 VHF (162 MHz)-PECVD 의 Silicon Nitride 증착 연구 김기석, 김기현, 지유진, 염근영 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
| 4 |
Unprecedented Method of Epitaxy Silicon Growth at 200 °C using Very High Frequency Plasma Enhanced Vapor Phase Epitaxy 김가현, 홍지은, 김남우, 윤현, 조임현, 서관용, 김동석 한국공업화학회 2016년 가을 학술대회 |
| 3 |
CCP (Capacitively Coupled Plasma)-type Reactor에서 VHF (Very High Frequency) Generator를 이용한 ACL (Amorphous Carbon Layer)에 관한 식각 특성연구 권용현, 신경섭, 황기현, 염근영 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
| 2 |
미세 결정질 실리콘 박막의 후처리가 박막의 전기적 특성에 미치는 영향 윤미현, 오지숙, 임경택, 정채환, 임상우 한국화학공학회 2010년 봄 학술대회 |
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VHF ICP 물플라즈마를 이용한 수소생성에서 공정변수의 영향 권성구, 김대운, 주정훈, 추원일 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
