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Thermal ALD와 Plasma Enhanced ALD기법을 사용해 제작된 HfO2 박막의 전기적 특성 및 Si/HfO2 계면 분석 안영환, 이왕곤, 김지웅, 서형탁 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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Thermal atomic layer deposition of Molybdenum trioxide using metal organic precursor and H2O reactant. 이정훈, 최연식, 김병욱, 박현우, 이남규, 전형탁 한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
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Development of Dry Etching for the InGaZnO Film using CH4-Based Gas Chemistry with High Volatility of Etch By-Product 조현철, 정재경 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Atomic layer deposition of molybdenum films from molybdenum pentachloride and molybdenum dichloride dioxide 이창원, 이세원, 김무성, Sergei Ivanov 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
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Very High Frequency Plasma - Enhanced 원자층 증착법을 통한 순수 코발트 박막 특성 연구 송창훈, 염원균, 이수정, 탁현우, 변지영, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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SAM/ALD 복합공정을 통한 초소수성 표면 특성 분석 김경덕, 신소라, 박종완 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Enhanced crystallinity of VO2 thin film by post annealing 김범식, 장우출, 정찬원, 조해원, 김현정, 임희우, 권영균, 전형탁 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Crystallinity and energy band structure of atomic layer deposited ZrO2 films using Cp-Zr precursor Hyoseok Song, Hyeongtag Jeon 한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |
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Poly-crystalline IGZO superlattice films with atomic layer deposited ZnO buffer layer and their thermoelectric properties 조성운, 권용현, 백승기, 김예균, 신재희, 조형균 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
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Improved Integration of high-K dielectric on MoS2 by Using Metal Oxide Seed Layer 손석기, 유선문, 최문석, 김도형, 최창환 한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |