| 번호 | 제목 |
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화학증착소재(precursor) 증기압 측정 및 불확도 평가 김하영, 최은미, 맹선정, 이수연, 박지원, 윤주영 한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
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반도체 캐패시터 유전막 증착원료(precursor) TEMAHf(Tetrakis-ethylmethylaminohafnium)의 진공에서의 열물성 및 박막특성평가 안지혁, 김하영, 심섭, 강고루, 안종기, 최은미, 정낙관, 김진태, 윤주영 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
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The effect of HfO2 Films using Atomic Layer Deposition in accordance with thermal decomposition temperature of Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium [TEMAHf] 오남근, 안종기, 강고루, 김소연, 김진태, 윤주영 한국공업화학회 2016년 봄 학술대회 |
