화학공학소재연구정보센터
번호 제목
5 Film analysis on Functional Group of Self-Assembled Monolayer (SAM) for the application on Cu diffusion barrier
Minkyu Lee, Seungmin Lee, Taeyoon Lee
한국재료학회 2021년 봄 학술대회
4 Replacement of Copper Diffusion Barrier using Chemical Analysis of Self-Assembled Monolayer
Minkyu Lee, Taeyoon Lee
한국재료학회 2020년 봄 학술대회
3 Study of Functional Group of Self-Assembled Monolayer and its Chemical Analysis
Minkyu Lee, Taeyoon Lee
한국재료학회 2019년 가을 학술대회
2 Study on Organic Thin Film Molecular Structure for the Blocking of Cu Diffusion
이민규, 이상근, 이태윤
한국재료학회 2018년 가을 학술대회
1 반도체 배선용 Cu(Mg) 박막의 전기적 신뢰성 평가|Characterizations of electrical reliabities in Cu(Mg) film for ULSI interconnects
안정욱, 황상수, 김병희, 박영배, 주영창
한국재료학회 2004년 가을 학술대회