| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Si:H 박막 코팅용 SiH4 플라즈마 반응기에서의 입자 성장에 대한 펄스 변조의 영향 박정훈, 강진이, Nasonova Anna, Piyabutr Sunsap, 김동주, 김교선 한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |
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Si:H 박막 코팅용 SiH4 플라즈마 반응기에서의 입자 성장에 대한 펄스 변조의 영향 박정훈, 강진이, Nasonova Anna, Piyabutr Sunsap, 김동주, 김교선 한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |