화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 Study on interaction between ceria and various silicon-based wafers for brand-new semiconductor cleaning process
명경규, 변진욱, 임태호, 김재정
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회
2 레이저 충격파 특성에 의한 나노입자 제거효율에 미치는 영향
유영삼, 김태곤, 손일룡, 박진구
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
1 Semiconductor Cleaning for Nano Scale Device
이헌정, 이다희
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회