화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 Al2O3 Thin Film Encapsulation by Spatial Atomic Layer Deposition
Seokyoon Shin, Giyul Ham, Joohyun Park, Juhyun Lee, Hyeongsu Choi, Sejin Kwon, Hyeongtag Jeon
한국재료학회 2017년 봄 학술대회
1 Al2O3 Thin Film Encapsulation by Ozone-based Atomic Layer Deposition
Seokyoon Shin, Giyul Ham, Joohyun Park, Juhyun Lee, Hyeongsu Choi, Seungjin Lee, Sejin Kwon, Hyeongtag Jeon
한국재료학회 2016년 가을 학술대회