번호 | 제목 |
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Al2O3 Thin Film Encapsulation by Spatial Atomic Layer Deposition Seokyoon Shin, Giyul Ham, Joohyun Park, Juhyun Lee, Hyeongsu Choi, Sejin Kwon, Hyeongtag Jeon 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
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Al2O3 Thin Film Encapsulation by Ozone-based Atomic Layer Deposition Seokyoon Shin, Giyul Ham, Joohyun Park, Juhyun Lee, Hyeongsu Choi, Seungjin Lee, Sejin Kwon, Hyeongtag Jeon 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |