번호 | 제목 |
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1 |
Effect of acid diffusion control on triphenylsulfonium salt bound polymer resist. 정진혁, 박상욱, 이해원 한국고분자학회 2013년 가을 학술대회 |
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Effect of acid diffusion control on triphenylsulfonium salt bound polymer resist. 정진혁, 박상욱, 이해원 한국고분자학회 2013년 가을 학술대회 |