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3D Feature profile simulation toward next generation high aspect ratio contact hole etching process under fluorocarbon and additive gas plasma 박재형, 유혜성, 유동훈, 임연호 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
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Fabrication of Organic Light Emitting Diode Micropixels by Self-Aligned Imprint Lithography and Plasma-Etch Processes 박형기, 나창연, 이한길, 박성민, 조성민 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
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Fabrication of indium-gallium-zinc-oxide TFT using self-aligned imprint lithography 나창연, 조성민 한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
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Imprint- and plasma-etch-patterned organic light-emitting diode micropixels with through-hole anode connections 박형기, 조성민 한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
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Sensitivity Enhancement of SiO2 Plasma Etching Endpoint Detection Using Modified Gaussian Mixture Model 이성현, 채희엽, 이상인 한국화학공학회 2020년 봄 학술대회 |
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Bridging technology between molecular dynamic simulation and density function theory for plasma etching process 박재형, 육영근, 유혜성, 오민주, 장원석, 배성민, 임연호 한국화학공학회 2020년 봄 학술대회 |
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3D NAND 식각 기술에 적용될 신규 L-HFC 식각 기술 연구 탁현우, 성다인, 홍인표, 문룡, 김동우, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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중성빔을 이용한 블록공중합체 패턴의 저손상 식각에 관한 연구 장원준, 김교운, 오지수, 김희주, 홍종우, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Universal plasma etch reaction modeling for fluorocarbon plasma processes 유혜성, 임연호, 육영근, 박재형, 유동훈, 윤국현 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
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Numerical 3D simulation of plasma etch profile with real plasma chemistry 박재형, 유혜성, 육영근, 오민주, 유동훈, 임연호 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |