화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 Dependence of cation ratio in Oxynitride Glasses on the plasma etching rate
Lee Jungki, Hwang Seongjin, Lee Sungmin, Kim Hyungsun
한국재료학회 2009년 가을 학술대회
2 Surface Analysis of Fluorine-Plasma Etched Y-Si-Al-O-N Oxynitride Glasses
Jungki Lee, Seongjin Hwang, Sungmin Lee, Hyungsun Kim
한국재료학회 2009년 봄 학술대회
1 Investigation of plasma resistance material with Y-Si-Al-O-N oxynitride glass
Jungki Lee, Seongjin Hwang, Sungmin Lee, Hyungsun Kim
한국재료학회 2008년 봄 학술대회