번호 | 제목 |
---|---|
2 |
Cl2/Ar 가스를 이용한 Ni 박막의 건식 식각 조한나, 리유에롱, 민수련, 정지원 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
1 |
C2F6 가스를 이용한 TiO2 박막의 건식 식각 특성 조한나, 민수련, 리 유에롱, 정지원 한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |
번호 | 제목 |
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Cl2/Ar 가스를 이용한 Ni 박막의 건식 식각 조한나, 리유에롱, 민수련, 정지원 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
1 |
C2F6 가스를 이용한 TiO2 박막의 건식 식각 특성 조한나, 민수련, 리 유에롱, 정지원 한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |