| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 7 |
Mechanistic Study of Different Cleaning Methods to Remove Ceria Particles from Silicon Oxide Surface 한소영, 박진구, Samrina Sahir, Nagendra Prasad Yerriboina, 한광민 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
| 6 |
EUV 리소그래피 마스크 표면에서의 오염입자의 흡착 및 제거 영향에 관한 연구 이구봉, 김민수, 박진구 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
| 5 |
메가소닉 주파수의 변화가 나노입자제거에 미치는 영향 김혁민, 강봉균, 이승호, 김정인, 이희명, 박진구 한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
| 4 |
레이저 유기 충격파를 이용한 나노 Trench 에서의 나노입자제거 김진수, 이승호, 박진구 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
| 3 |
반도체 세정액 내 용존 수소 가스가 웨이퍼 세정에 미치는 영향 김혁민, 강봉균, 이승호, 박진구, 최은석, 김인정, 김봉우 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
| 2 |
마이크로 아이스를 이용한 가스 하이드레이트 제조기술 연구 강성필, 장원호, 서유택 한국공업화학회 2009년 봄 학술대회 |
| 1 |
Semiconductor Cleaning for Nano Scale Device 이헌정, 이다희 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
