번호 | 제목 |
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LSMCVD 공정으로 제조한 BST 박막의 저온 결정화|Crystallization at Low Temperature of BST Thin Films Prepared by LSMCVD 박진, 정현진, 박승빈, 우성일|Jin Park, Hyun Jin Chung, Seung Bin Park, Seong Il Woo 한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
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액적화학증착법을 이용한 BST 박막의 제조 및 전기적 특성평가|Preparation and Electrical Properties of BST Thin Films Deposited by Liquid Source Misted Chemical Vapor Deposition (LSMCVD) 정현진, 최재형, 이정용, 우성일|H. J. Chung, J. H. Choi, J. Y. Lee, S. I. Woo 한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |