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Delta-form LQG Control Technique combined with Run-to-Run Improvement of Feedforward Signal for Wafer Temperature Uniformity in 12-inch Rapid Thermal Processing
원왕연, 이광순, 이세찬, 지상현, 나병철
한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
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Delta Operator Approach to Modified Linear Quadratic Gaussian Control: Controller Design and Application to a Commercial 12-inch Rapid Thermal Processing
원왕연, 이광순, 이세찬, 지상현, 나병철
한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
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Delta형 LQG 제어기술 기반의 ILC를 적용한 12인치 급속열처리장치(RTP)의 온도 균일도 제어
이세찬, 이광순, 원왕연, 지상현, 나병철
한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
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변형된 delta형 LQG 제어기술을 이용한 12인치 급속열처리장치의 온도 균일도 제어
이세찬, 원왕연, 지상현, 나병철, 이광순
한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 |
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Identification of MIMO State Space Model in Delta-form
원왕연, 이광순
한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 |
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Combined Run-to-Run and Real-time Multivariable Control for Wafer Temperature Uniformity in a 12-inch RTP Equipment
원왕연, 윤우현, 이광순, 지상현, 나병철, 이세찬
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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실시간 외란에 강인한 Two Stage 반복 학습제어기를 이용한 RTP 장치 웨이퍼 온도의 다변수 제어
조문기, 이광순, 주상래, 이용희
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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RTP 시스템에서 웨이퍼의 온도 균일도 제어|Control of Wafer Temperature Uniformity in RTP System
안효진,양대륙,이광순|Hyo-Jin Ahn,Dae-Ryook Yang,Kwang-Soon Lee
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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상태공간에서 재조명한 품질제어가 포함된 회분공정용 LQG|State-space based Reformulation of QBLQG
진인식, 이광순, 최진훈, 이재형|Insik Chin, Kwang Soon Lee, Jinhoon Choi, Jay H. Lee
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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Linear Quadratic Gaussian에 근거한 회분/반회분 공정의 품질 및 추적제어|Quality and Tracking Control of Batch and Semi-batch Process based on Linear Quadratic Gaussian
진인식, 이광순, 최진훈, 이재형|Insik Chin, Kwang Soon Lee, Jinhoon Choi, Jay H. Lee
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
