화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 Tin oxo cluster-based Hybrid Organic-Inorganic Photoresist for EUV Lithography
Yeo Kyung Kang, 김명길
한국고분자학회 2022년 봄 학술대회
2 Ceramic Patterning and Microstructuring from Inorganic Polymers with Lithographic Techniques
김동표
한국화학공학회 2009년 봄 학술대회
1 회전도포법에 의한 텅스텐금속박막의 제조와 응용|Preparation and application of tungsten metal film by spin coating
이정호, 이관영|Jung-Ho Lee, Kwan-Young Lee
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회