번호 | 제목 |
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1 |
Ruthenium Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition Woong-Chul Shin, Kyu-Jeong Choi, Hyun-June Jung, Soon-Gil Yoon, Soo-Hyun Kim 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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Ruthenium Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition Woong-Chul Shin, Kyu-Jeong Choi, Hyun-June Jung, Soon-Gil Yoon, Soo-Hyun Kim 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |