번호 | 제목 |
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1 |
Electrical Properties of Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition HfO2/HfOxNy/HfO2 Gate Oxide 맹완주, 김형준 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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Electrical Properties of Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition HfO2/HfOxNy/HfO2 Gate Oxide 맹완주, 김형준 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |