번호 | 제목 |
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Enhanced silicon surface passivation of atomic layer deposited Al2O3 films with surface treatment Ham Cho Rom Cha, Hyo Sik Chang 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Enhanced silicon surface passivation of atomic layer deposited Al2O3 films with surface treatment Ham Cho Rom Cha, Hyo Sik Chang 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |