| 번호 | 제목 |
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FBAR 소자제작을 위한 전극막에 따른 ZnO 방향성 연구 최승혁, 김종성 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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FBAR 소자용 Si Membrane 구조제작 및 ZnO 압전 박막 증착|The fabrication of membrane structure for FBAR and the deposition of ZnO piezoelectric thin film 임석진,김종성|Seok-Jin Lim,Jong Sung Kim 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
