화학공학소재연구정보센터
번호 제목
8 높은 내식각성을 갖는 EUV lithography(EUVL)용 고불소화 주석산화물 레지스트의 합성 및 리소그래피 특성 평가
안형주, 우지훈, 구예진, 이진균
한국고분자학회 2022년 봄 학술대회
7 Metal Chalcogenide based- Photoresists with Chemical Amplified Ligand
전승주, 김예진, 황도훈, 김명길, 임보규
한국고분자학회 2022년 봄 학술대회
6 Molecular materials Containing a Large amount of Iodine as a Sensitizer to Improve the Performance of Extreme UV Resist
박한빛, 이진균, 구예진
한국고분자학회 2021년 봄 학술대회
5 Polymeric Materials for Extreme UV Lithography
김재현, 이재우, 오승근, 이정열, 김정식
한국고분자학회 2011년 봄 학술대회
4 Surfactant-Assisted Orientation of Thin Diblock Copolymer Films
차국헌, 손정곤
한국고분자학회 2007년 봄 학술대회
3 Control of PS-b-PMMA Block Copolymer Thin Films Orientation using Surfactants
손정곤, Xavier Bulliard, 강희만, Paul Nealey, 차국헌
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회
2 High Performance Resists for Sub-100 nm EUV Lithographic Patterning
최재학, 노영창, 홍성권
한국공업화학회 2006년 봄 학술대회
1 Synthesis and Characterizations of Poly(oxyethylene) Derivatives and Polysiloxane Derivatives for Extreme-UV Lithography
류현수, 이종찬
한국고분자학회 2005년 봄 학술대회