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학술대회 목록보기

번호	제목
9	ZnSnOx계 복합 박막이 코팅된 PEMFC 용 SUS316 bipolar plate의 전기화학성능에 대한 연구 박지훈, 안민제, 김상옥, 장원영, 성영은, 변동진, 이중기 한국화학공학회 2008년 가을 학술대회
8	Plasma enhanced atomic layer deposition of aluminium oxide passivation layers 김태섭, 고명균, 김웅선, 문대용, 강병우, 박종완 한국재료학회 2008년 봄 학술대회
7	UV/O₃와 ECR plasma를 이용한 실리콘 웨이퍼상의 유기오염물의 건식세정\|UV/O₃와 ECR plasma를 이용한 실리콘 웨이퍼상의 유기오염물의 건식세정 이종무 한국재료학회 2004년 가을 학술대회
6	ECR plasma etching을 이용한 2차원 photonic crystal structure 제작 및 특성평가에 관한 연구\|A study on fabrication and evaluation of characteristics of 2-dimensional photonic crystal structure using ECR plasma etching 문강훈, 신수범, 안진호 한국재료학회 2004년 가을 학술대회
5	RuO₂ MOCVD를 위한 TiN막의 ECR plasma 전처리\|ECR plasma pretreatment of the TiN films for RuO₂ MOCVD 이종무, 김대교, 엄태종, 홍현석 한국재료학회 2003년 가을 학술대회
4	ECR 플라즈마 반응기의 2차원 전산모사\|A Two Dimensional Simulation of an ECR Plasma Reactor 남상기, 신치범\|S. K. Nam, C. B. Shin 한국화학공학회 1998년 가을 학술대회
3	GaAs 기판표면의 질화 및 GaN 박막 성장\|Nitridation of GaAs substrate and GaN thin film growth 모영환, 심현욱, 김선중, 서영훈, 남기석\|Y. H. Mo, H. W. Shim, S. J. Kim, Y. H. Seo, K. S. Nahm 한국화학공학회 1998년 봄 학술대회
2	ECR 플라즈마 반응기 내에서의 전달현상\|Transport Phenomena in an ECR Plasma Reactor 허진석, 신치범, 오수기\|J.S. Huh, C.B. Shin, S.G. Oh 한국화학공학회 1997년 가을 학술대회
1	ECR플라즈마를 이용한 화학증착법에 의해 제조된 실리콘 산화막의 전기적특성\|Electrical Characteristics of Silicon Oxide Films Prepared by Chemical Vapor Deposition Method Using ECR Plasma 전법주, 허정수, 오인환, 임태훈, 윤용수, 정일현\|Bup-Ju Jeon, Jung-Soo Heo, In-Hwan Oh, TaeHoon Lim, Yong-Soo Youn, Il-Hyun 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회

번호	제목
9	ZnSnOx계 복합 박막이 코팅된 PEMFC 용 SUS316 bipolar plate의 전기화학성능에 대한 연구 박지훈, 안민제, 김상옥, 장원영, 성영은, 변동진, 이중기 한국화학공학회 2008년 가을 학술대회
8	Plasma enhanced atomic layer deposition of aluminium oxide passivation layers 김태섭, 고명균, 김웅선, 문대용, 강병우, 박종완 한국재료학회 2008년 봄 학술대회
7	UV/O₃와 ECR plasma를 이용한 실리콘 웨이퍼상의 유기오염물의 건식세정\|UV/O₃와 ECR plasma를 이용한 실리콘 웨이퍼상의 유기오염물의 건식세정 이종무 한국재료학회 2004년 가을 학술대회
6	ECR plasma etching을 이용한 2차원 photonic crystal structure 제작 및 특성평가에 관한 연구\|A study on fabrication and evaluation of characteristics of 2-dimensional photonic crystal structure using ECR plasma etching 문강훈, 신수범, 안진호 한국재료학회 2004년 가을 학술대회
5	RuO₂ MOCVD를 위한 TiN막의 ECR plasma 전처리\|ECR plasma pretreatment of the TiN films for RuO₂ MOCVD 이종무, 김대교, 엄태종, 홍현석 한국재료학회 2003년 가을 학술대회
4	ECR 플라즈마 반응기의 2차원 전산모사\|A Two Dimensional Simulation of an ECR Plasma Reactor 남상기, 신치범\|S. K. Nam, C. B. Shin 한국화학공학회 1998년 가을 학술대회
3	GaAs 기판표면의 질화 및 GaN 박막 성장\|Nitridation of GaAs substrate and GaN thin film growth 모영환, 심현욱, 김선중, 서영훈, 남기석\|Y. H. Mo, H. W. Shim, S. J. Kim, Y. H. Seo, K. S. Nahm 한국화학공학회 1998년 봄 학술대회
2	ECR 플라즈마 반응기 내에서의 전달현상\|Transport Phenomena in an ECR Plasma Reactor 허진석, 신치범, 오수기\|J.S. Huh, C.B. Shin, S.G. Oh 한국화학공학회 1997년 가을 학술대회
1	ECR플라즈마를 이용한 화학증착법에 의해 제조된 실리콘 산화막의 전기적특성\|Electrical Characteristics of Silicon Oxide Films Prepared by Chemical Vapor Deposition Method Using ECR Plasma 전법주, 허정수, 오인환, 임태훈, 윤용수, 정일현\|Bup-Ju Jeon, Jung-Soo Heo, In-Hwan Oh, TaeHoon Lim, Yong-Soo Youn, Il-Hyun 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회