| 14 |
Effective segregation coefficient calculation in heavily doped Czochralski silicon crystals by considering the dopant evaporation from the melt
송도원, 배문주, 김상희, 이홍우
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
| 13 |
3D simulation of Si-melt flow patterns and their effects on crystal quality in the horizontal magnetic Czhochralski
송도원, 정호섭, 오현정
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
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The Carbon- or Nitrogen-doping Effects on the Bulk Micro Defects Behavior of the Epitaxial Wafer
송도원, 김 효
한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
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The Grow-in DefectsControl in Heavily Boron Doped Czochralski Silicon Cryatal
송도원, 김 효, 이상훈
한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
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Czochralski-Silicon(Cz-Si) 단결정 성장로에서 석영도가니의 내구성에 대한 실험
송도원, 김 효, 최영규
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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Effect of Argon Gas Flow-Rate on Temperature Gradient at the Interface between Si Melt and Solid in Czochralski 450-mm Single Crystal-Silicon Growth
Hyung-Jin Kim, Jin-Seong Kim, In-Ji Lee, Gon-Sub Lee, Jea-Gun Park
한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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The Formation and Control of the Cross-Slip Dislocaton in the Horizontal Magnetic Czochralski Grown Silicon Crystals
송도원, 김영훈, 김 효
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
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The Effects of Argon Gas flow on the Czochralski Silicon Crystal Growth by Numerical Simulation
In-Ji Lee, Gon-Sub Lee, Min-Jeong Kim, Ungyu Paik, Jea-Gun Park
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Prediction of Dynamic Heat Flux for 450mm Single Crystal Silicon Growth under CUSP Magnetic Field
Wan-Gam Song, Jin-Woo Jung, Joon-Hoi Kim, Gon-Sub Lee, Jea-Gun Park
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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초크랄스키 실리콘 결정 결함 영역의 비파괴 분석 연구|Non-destructive evaluation techniques for Grown-in defects distribution in Czochralski silicon
배기만, 홍병섭, 이보영
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
