| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
반응성 스퍼터링을 이용한 Co-N 박막 형성 및 이를 이용한 CoSi2 에피층 성장|Formation of Co-N film using reactive sputtering of Co and growth of epitaxial CoSi2 using the Co-N film 이승렬, 김선일, 안병태 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
반응성 스퍼터링을 이용한 Co-N 박막 형성 및 이를 이용한 CoSi2 에피층 성장|Formation of Co-N film using reactive sputtering of Co and growth of epitaxial CoSi2 using the Co-N film 이승렬, 김선일, 안병태 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |