| 번호 | 제목 |
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Introduction of BARC and UL for Photolithographic Process: Optical and Chemical Interactions at Interfaces of Polymer Thin Films Jae Hwan Sim, 이정준, 안재윤, 임수정, 강유진, 정기정, 김수웅, 배영은, 임재봉 한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
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Preparation and Application of Patternable Bottom Antireflective Coating Material 허근, 권기옥, 차상호, 윤상웅, 이무영, 이종찬 한국고분자학회 2006년 봄 학술대회 |
