| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
Solid phase formation and stoichiometry of the plasma-enhanced atomic layer deposited Tantalum carbo-nitride films using TBTDET and hydrogen 송문균, 이시우 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
| 1 |
원자층 증착 공정을 이용한 탄탈륨 카보나이트라이드 박막의 조성 및 고체 상 변화에 따른 박막 특성 연구 송문균, 이시우 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
