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Plasma Processing Characterization During Radio-Frequency PECVD of Diamond-Like Carbon Films on Stainless Steel
황덕호, 이제원, 정연욱, 박상혁, 박진표, 김희철, 조관식
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Characteristics of Si3N4 thin film‘s growth on IT glass by RF magnetron sputtering process
손정일, 김남혁, 김광수
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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Superimposed multi-frequency plasma source 의 plasma diagnostic 및 etch 특성 분석
양경채, 김수강, 신예지, 성다인, 염근영
한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |
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HARC 식각을 위한 pulsed triple frequency 효과에 대한 연구
양경채, 김수강, 이호석, 성다인, 염근영
한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
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Properties of Inductively Coupled Plasma Source Applied to Internal Linear Antenna using Superimposed Dual Frequency
이수정, 김도한, 김태형, 김수강, 이원오, 김경남, 염근영
한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
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VHF 플라즈마 소스를 이용한 PE-ALD 유전층 증착 공정 및 플라즈마에 의한 데미지 개선
오일권, 김태형, 염근영, 김강식, 이종훈, 이한보람, 김형준
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Effect of plasma treatment on polymer surface
Takatoshi TAGUCHI, Hiroki WATANABE, Tsuyoshi SUZUKI, Mitsuya MOTOHASHI
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Properties of Superimposed Internal Linear ICP Source Using Dual Frequency
김도한, 염근영, 김태형
한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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Effect of Bias Frequency on the Etching of Magnetic Tunnel junction Materials
Geun Young Yeom, Kyong Nam Kim, Kyung Chae Yang, Sung Woo Park
한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
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CF4 plasma를 이용한 MoS2 thin film 식각 방법
윤덕현, 전민환, 염근영
한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |
