| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
HMDSO를 이용한 PECVD 증착 SiOx필름의 제조 및 특성|Preparation and Characterization of SiOx films deposited by PECVD using HMDSO 김성룡, 민경호, 차원호, 이호영 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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HMDSO를 이용한 PECVD 증착 SiOx필름의 제조 및 특성|Preparation and Characterization of SiOx films deposited by PECVD using HMDSO 김성룡, 민경호, 차원호, 이호영 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |