| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Hexachloro Disilane(Si2Cl6) 전구체를 이용한 3D 소자용 ONO(SiO2/SiN/SiO2)다층 박막구조의 후속 열처리공정에 따른 메모리특성에 관한 연구 이한결, 이원준, 정종완 한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
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Hexachloro Disilane(Si2Cl6) 전구체를 이용한 3D 소자용 ONO(SiO2/SiN/SiO2)다층 박막구조의 후속 열처리공정에 따른 메모리특성에 관한 연구 이한결, 이원준, 정종완 한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |