| 번호 | 제목 |
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| 16 |
PFC 건식 제염 폐기물 처리 공정 연구 원휘준, 정종헌, 장나온, 김선병 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
| 15 |
EUV 리소그래피 마스크 표면에서의 오염입자의 흡착 및 제거 영향에 관한 연구 이구봉, 김민수, 박진구 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
| 14 |
유기물 제거를 위한 Post Cu CMP 세정 용액 개발 권태영, Y. Nagendra Prasad, R. Prasanna Venkatesh, 박진구 한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
| 13 |
메가소닉 주파수의 변화가 나노입자제거에 미치는 영향 김혁민, 강봉균, 이승호, 김정인, 이희명, 박진구 한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
| 12 |
레이저 충격파 특성에 의한 입자 거동과 세정효율에 미치는 영향 유영삼, 김태곤, 손일룡, 박진구 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
| 11 |
Evaluation of Surface Resistance for CNT-Polymer Composites via Pretreatment of Carbon Nanotubes 장윤환, 한종훈 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
| 10 |
반도체 세정 공정평가를 위한 저비용 나노입자 오염장치 개발 손일룡, 김태곤, 유영삼, 박진구 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
| 9 |
레이저 충격파 특성에 의한 나노입자 제거효율에 미치는 영향 유영삼, 김태곤, 손일룡, 박진구 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
| 8 |
Cu ECMP 공정에서 전해질 특성평가 및 첨가제 영향 권태영, 김인권, 박진구 한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
| 7 |
STI, Poly-Si CMP 공정 중의 연마입자 부착력 특성 평가 김진영, 홍의관, 박진구 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
