번호 | 제목 |
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저온 원자층박막증착법을 이용한 고이동도 준 이차원 전자구름 박막형 트랜지스터 신희철, 강현우, 임재성, 최효빈, 서형탁 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
2 |
OLED 수분차단막으로써 사용하기 위한 산화 알루미늄의 원자층 박막 증착 공정법 남태욱, 김형준, 김동현 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
1 |
Low Temperature Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition Cobalt 김재민, 김형준 한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |