화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 저온 원자층박막증착법을 이용한 고이동도 준 이차원 전자구름 박막형 트랜지스터
신희철, 강현우, 임재성, 최효빈, 서형탁
한국재료학회 2020년 봄 학술대회
2 OLED 수분차단막으로써 사용하기 위한 산화 알루미늄의 원자층 박막 증착 공정법  
남태욱, 김형준, 김동현
한국재료학회 2014년 가을 학술대회
1 Low Temperature Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition Cobalt
김재민, 김형준
한국재료학회 2009년 가을 학술대회