| 번호 | 제목 |
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| 30 |
Cation-substituted yttria as a novel plasma resistance material 배강빈, 이인환 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
| 29 |
CVD 공정 생산성 향상을 위한 디퓨져 표면처리법 개발 이성구 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
| 28 |
반도체/디스플레이 장비 공정부품용 코팅소재의 진단 및 신뢰성평가 기술 김민중, 이승수, 소종호, 김진태, 정낙관, 최은미, 윤주영 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
| 27 |
Development of anti-adhesive and decontaminated coating material 김유섭, 조희재, 이수열, 정용찬, 한상철, 이경익 한국고분자학회 2018년 가을 학술대회 |
| 26 |
EUV 리소그래피 마스크 표면에서의 오염입자의 흡착 및 제거 영향에 관한 연구 이구봉, 김민수, 박진구 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
| 25 |
초음속 입자빔을 이용한 박막 위 표면오염입자 제거기술 및 응용 김인호, 이승아, 이진원 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
| 24 |
Si 웨이퍼 제조 공정 중 발생하는 금속 오염물 및 오염 입자 제거를 위한 세정공정 연구 송희진, 박건호, 장성해, 김민수, 박진구 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
| 23 |
EUV 리소그래피 공정에서 미세 오염입자에 의한 영향 및 오염입자 제거를 위한 세정공정 연구 박진구, 오혜근, 김인선, 김민수, 김현태, 이준, 최인찬, 장성해 한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
| 22 |
기능수 세정액을 이용한 메가소닉의 주파수 변화에 따른 미세오염입자 제거에 대한 연구 최인찬, 이준, 김민수, 박진구 한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |
| 21 |
액정 패널 제작공정 중 발생하는 submicron 오염입자 제거에 대한 FPD 세정공정의 개발 및 연구 이준, 김현태, 김민수, 박진구 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
