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The development of SiO2 hole pattern fabrication using photoresist without etching for the selective area growth of GaN
안민주, 변동진, 심규연, 강성호, 김효종, 김화영
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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GaN growth with hole-patterned masking layer using MOCVD
심규연, 안민주, 강성호, 김효종, 김화영, 변동진
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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Fabrication method of hole pattern SiO2 without etching using AZ positive Photoresist for bottom up GaN-based nanoLED
김화영, 변동진, 안민주, 심규연, 강성호, 김효종
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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A study on the characteristics of PR patterning morphology according to refractive index and reflectance.
강성호, 정우섭, 안민주, 심규연, 김효종, 김화영, 변동진
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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The study of the GaN micro-rod selective area growth morphology depends on the buffer layer by MOCVD
안민주, 정우섭, 심규연, 강성호, 김효종, 변동진
한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
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Basic research on fabrication and characteristics of ZnO-based gas sensor device
심규연, 정우섭, 안민주, 김효종, 변동진
한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
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Fabrication of gallium nitride on AlN buffer layer with hole pattern mask using lift off method
김효종, 정우섭, 안민주, 심규연, 강성호, 변동진
한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
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Study on the characteristics of AlN buffer layer deposited with RF-Magnetron sputter for GaN growth
강성호, 정우섭, 안민주, 심규연, 김효종, 변동진
한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
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Fabrication of hydrogen gas sensor using ZnO grown by metal-organic chemical vapor deposition
심규연, 정우섭, 조승희, 안민주, 강성호, 김효종, 변동진
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Effect of low-temperature buffer layer for growth GaN rods on patterned sapphire substrate
김효종, 정우섭, 조승희, 안민주, 심규연, 강성호, 변동진
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
