화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 반도체용 포토마스크 보호를 위한 펠리클 프레임 제조 시 발생되는 오염물 제거를 위한 세정 공정 개발
김현태, 박진구, 강봉균, 김민수, 조윤식, 문정일
한국재료학회 2013년 가을 학술대회
1 Aluminum 합금소재의 알칼리에칭 공정으로 발생한 Smut 제거를 위한 무질산 혼합산용액 개발
추수태, 최상교
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회