번호 | 제목 |
---|---|
2 |
반도체용 포토마스크 보호를 위한 펠리클 프레임 제조 시 발생되는 오염물 제거를 위한 세정 공정 개발 김현태, 박진구, 강봉균, 김민수, 조윤식, 문정일 한국재료학회 2013년 가을 학술대회 |
1 |
Aluminum 합금소재의 알칼리에칭 공정으로 발생한 Smut 제거를 위한 무질산 혼합산용액 개발 추수태, 최상교 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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반도체용 포토마스크 보호를 위한 펠리클 프레임 제조 시 발생되는 오염물 제거를 위한 세정 공정 개발 김현태, 박진구, 강봉균, 김민수, 조윤식, 문정일 한국재료학회 2013년 가을 학술대회 |
1 |
Aluminum 합금소재의 알칼리에칭 공정으로 발생한 Smut 제거를 위한 무질산 혼합산용액 개발 추수태, 최상교 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |