| 번호 | 제목 |
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EUV 마스크 표면 재료 및 carbon 오염물 간의 상호작용 및 carbon 오염물 제거를 위한 세정액 연구 송희진, 김민수, 김현태, 최인찬, 장성해, 박진구 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Si 웨이퍼 제조 공정 중 발생하는 금속 오염물 및 오염 입자 제거를 위한 세정공정 연구 송희진, 박건호, 장성해, 김민수, 박진구 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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Efftct of composition on microstructure and electrical properties of YAlO3 and YCrO3 based NTC thermistor with perovskite structure 이채현, 송희진, 김병찬, 이충국 한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
