| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Study on characteristics of cobalt film deposited by Remote Plasma ALD method 김근준, 이근우, 한세진, 정우호, 배규열, 전형탁 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Study on characteristics of cobalt film deposited by Remote Plasma ALD method 김근준, 이근우, 한세진, 정우호, 배규열, 전형탁 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |