| 번호 | 제목 |
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OES를 이용한 평판형 유도결합 BCl3/SF6 플라즈마 식각 특성 연구|A Study of Etching Characteristic in Planar Inductively Coupled BCl3/SF6 Plasma by OES 박민영, 이제원, 장수욱, 노호섭, 조관식, 박강수, 박건수, 윤진성 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 및 GaAs/InGaP의 선택적 및 비선택적 건식식각의 비교|Comparison of Selective and Non-Selective Dry Etching of GaAs/AlGaAs and GaAs/InGaP using Planar Inductively Coupled Plasmas 박민영, 최충기, 류현우, 노호섭, 문준희, 유승열, 임완태, 이제원, 조관식, 전민현, 송한정, 백인규, 권민철, 박건수, 윤진성 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
