| 번호 | 제목 |
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OES를 이용한 평판형 유도결합 BCl3/SF6 플라즈마 식각 특성 연구|A Study of Etching Characteristic in Planar Inductively Coupled BCl3/SF6 Plasma by OES 박민영, 이제원, 장수욱, 노호섭, 조관식, 박강수, 박건수, 윤진성 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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마이크로 플라즈마 구현을 위한 MEMS 공정 개발|Development of MEMS Process for Micro Plasma Realization 장수욱, 이제원, 박민영, 유승열, 노호섭, 조관식, 박강수, 손채화, 문성진, 신동현 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
